轻骨料混凝土微电子厂房微振动响应研究

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发布时间：2022-04-16

资料介绍

0引言
近年来，微电子工业的发展已成为衡量一个国
家科学技术和经济发展实力的重要标志。微电子工
业是精密制造业，其厂房中的高科技设备及精密部
件，都有严格的无尘和无噪声干扰的环境要求
针对结构防微振设计理论，国内外进行了许多
研究：在振源模型方面，许多学者研究了由火车、汽
车等交通工具产生的振动，考虑了距离、地基土特性
等因素的影响，提出了各种描述模型24。关于防微
振研究，多数集中在对设备的隔振上，对高精密仪器
微振动控制的主要研究工作则集中在振动控制技
术)、制动器8和隔振平台等几方面。
目前的设备平台比较大型化，并且与基础地基
相连，同时许多项目还对主体结构的承重柱和维护
墙等提出防微振要求。因此仅依靠局部隔振已无法
解决，只有通过整体结构的防微振设计，才能达到防
微振工艺要求
为缩小结构断面、减轻结构自重、提高保温隔热
等性能，轻骨料混凝土已成为现代混凝土技术的重
要发展方向之一，近年来发达国家越来越重祝高
性能轻骨料及其混凝土的研究和应用，并将其用于
工业与民用建筑工程中的承重结构，取得了良好
的经济和社会效益。
本文以某微电子厂房为分析实例，利用有限元
分析软件SAP2000对其光刻区进行了时程分析、反
应谱分析，探究将原普通混凝土改为轻骨料混凝土
后，结构质量变化对结构微振响应的影响，为结构的
防微振设计提供参考。